一、产品功能
FTPA20O0-SC系列湿法过程分析仪(WPA)最多可监测8个浴槽。浴槽可在单个或多个机台上使用并且可监控相同或不同的化学药液。WPA可以安装在浴槽100米(328英尺)内任何位置，通过Modbus，以太网或4-20mA模拟输出进行通讯。WPA除了能够显示过程中监测的各个性质值及其趋势外，还能够自动存储数据，当数值超出许可范围时，软件会发出警告或报警。
二、远程分析
过程控制可实时监控浴槽药液浓度并及时控制药液的补加，是一种最有效的减少偏移事件和减少化学药液用量的方法。WPA是一个基于FT-IR傅立叶红外技术的低漂移系统，专利叉骨双悬臂角镜式干涉仪的高抗震性和永久准直以及激光控制计量的高度稳定性，可实现可靠稳定的过程控制。
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三、产品特点
1. 可对湿法化学过程进行精确、实时的在线监测。
2. 非接触式测量。
3. 快速测量(<1分钟)，接受多种通讯协议。
4. 多流路分析(最多可达8个流路)。
5. 多组分分析（每个流路可切换多种配方工艺药液）
6. 可通过光纤实现远程监测，仪器外型尺寸小。
7. 傅立叶红外拥有极高的稳定性和可靠性。
四、产品优势
1. 延长药液使用寿命，减少化学品消耗，无离线实验室分析所需的停工期，从而节约生产费用。
2. 无化学品损耗，无污染风险，安装时无需停工。
3. 实时过程控制。
4. 每一监控点分析成本低。
5. 增强了技术要求很严格的场合的过程分析性能，减少晶片的清洗次数。
6. 灵活的安装选择。
7. 无漂移，维护量低。
